Man mano che gli strumenti di processo diventano sempre più sofisticati e complessi, è necessario disporre di sensori in fibra dotati di funzionalità di rilevamento stabili e facili da installare. Offriamo un'ampia gamma di prodotti con caratteristiche specifiche per il rilevamento dei wafer nel campo della produzione dei semiconduttori.
Applicazione: mappatura dei wafer
Quando si prelevano i wafer con una pinza robotica, è necessario rilevare il numero e la posizione dei wafer impostati nel FOUP per evitare di ridurre la produttività con movimenti superflui. Esiste anche il rischio di danneggiare il wafer quando la pinza robotica viene inserita a causa del passo stretto del wafer o della deformazione del wafer.
La nostra soluzione: fibre ottiche specifiche per il rilevamento dei wafer
OMRON offre sensori con caratteristiche specializzate, dotati di una testina a profilo sottile e facili da montare sui bracci robotici nelle applicazioni di produzione di semiconduttori.
OMRON offre supporto per il trasferimento dei wafer nel campo della produzione dei semiconduttori, sfruttando le caratteristiche di questo sensore per rilevare il numero e la posizione dei wafer nel FOUP con un sensore a riflessione.
Tecnologie abilitanti
Sensori appositamente progettati per il rilevamento affidabile dei wafer
I sensori in fibra per la mappatura dei wafer presentano un profilo sottile e sono facili da montare sui bracci robotici. Anche la regolazione dell'asse ottico è semplice. I sensori in fibra ottica per wafer rilevano in modo affidabile anche i wafer impilati tra loro.
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