Adattamento ai cambiamenti nell'ambiente del sito di produzione e ai materiali ecocompatibili
Con l'aumentare della domanda di produttività e qualità nella produzione dei semiconduttori, il controllo preciso della temperatura sulla superficie dei wafer diventa cruciale per le prestazioni delle attrezzature. La nostra tecnologia avanzata di controllo della temperatura, sviluppata nel corso di molti anni, garantisce una regolazione uniforme della temperatura in più punti della superficie del wafer.
Applicazione: Controllo della temperatura della superficie del wafer
L'ambiente varia a seconda della destinazione di spedizione dell'attrezzatura, pertanto è necessario eseguire nuovamente le regolazioni PID in loco. La regolazione PID è necessaria per ogni tipo di pezzo, pertanto l'operazione è dispendiosa in termini di tempo.
La nostra soluzione: Controllo della temperatura modulare avanzato
La nostra unità di controllo della temperatura NX-TC libera i siti di produzione dalle onerose operazioni di messa in funzione e regolazione. Acquisisce le variazioni delle condizioni che possono influire sulla qualità, come farebbe un lavoratore esperto, e apporta automaticamente le regolazioni PID per fornire un controllo della temperatura che mantiene costantemente le condizioni ottimali.
Grazie alla tecnologia "a controllo adattivo" integrata in questo prodotto, i valori ottimali di PID vengono calcolati automaticamente sia al momento dell'avvio che durante la produzione stabile. Inoltre, è possibile monitorare lo stato di controllo della temperatura della macchina per regolare automaticamente il valore PID in modo da ottenere il controllo ottimale della temperatura in risposta alle variazioni quali le modifiche del pezzo e modifiche della macchina.
Sopprime automaticamente le variazioni di temperatura causate da disturbi di routine
Fornisce controllo automatico stabile rispetto alle variazioni di temperatura prevedibili. Contribuisce al miglioramento della qualità e all'aumento della capacità produttiva riducendo i tempi di attesa per la stabilizzazione della temperatura.
Applicazione: Controllo preciso della temperatura in presenza di disturbi
Il packaging avanzato e l'elevata integrazione dei semiconduttori hanno reso indispensabile un rigoroso controllo della temperatura. I disturbi di routine causano variazioni di temperatura che influiscono sulla qualità, poiché il tempo di attesa affinché tali variazioni, causate da disturbi di routine, si stabilizzino ostacola la capacità produttiva.
La nostra soluzione: Controllo avanzato della temperatura
La soppressione dei disturbi è una funzione di controllo che sopprime automaticamente le variazioni di temperatura che si presume siano causate da disturbi prevedibili. I segnali di attivazione inviati al controllore della temperatura prima che si verifichino questi disturbi attivano la funzione, che aggiunge o sottrae una variabile manipolata (MV). L'autoregolazione dei disturbi adatta automaticamente il valore MV FF (feedforward), il tempo di funzionamento FF e il tempo di attesa FF.
Le unità di controllo della temperatura NX-HTC e NX-TC offrono un controllo automatico stabile delle variazioni di temperatura prevedibili, ad esempio quelle causate dall'infiltrazione di aria esterna all'apertura e alla chiusura delle porte. NX-HTC e NX-TC contribuiscono al miglioramento della qualità e all'aumento della capacità produttiva riducendo il tempo di attesa per la stabilizzazione della temperatura.
Tecnologie abilitanti
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