Man mano che la complessità delle strutture dei dispositivi aumenta, è necessario misurare in modo estremamente preciso i wafer e i chip che compongono il dispositivo. Una misurazione accurata dei wafer e dei chip è essenziale per garantire una produzione di semiconduttori di alta qualità.
Applicazione: misurazione dell'altezza dei wafer e dei chip
La misurazione della deformazione del wafer è un'operazione potenzialmente complessa, a causa di diversi aspetti come le tensioni di trazione durante il processo o le variazioni di temperatura. Man mano che i wafer si assottigliano, la deformazione durante il processo dei wafer può diventare più pronunciata. L'impossibilità di misurare con precisione l'oggetto può influire negativamente sulle prestazioni e sulla resa dei dispositivi a semiconduttori.
La nostra soluzione: tecnologia di rilevamento dello spostamento ad alta precisione senza contatto
Le tecnologie di misurazione laser confocale di OMRON sono ideali per affrontare le sfide associate alla deformazione del wafer, offrendo metodi senza contatto per misurare il wafer e assicurando allo stesso tempo un'elevata ripetibilità.
L'esclusivo sensore di spostamento confocale con luce bianca di OMRON offre misurazioni delle superfici angolate, curve e lucide con una risoluzione più elevata rispetto ai tradizionali sensori di spostamento laser.
Applicazione: regolazione dell'asse Z del fissaggio dei chip
La misurazione dell'altezza dei chip può risultare complessa. Con l'avvento di dispositivi come i circuiti integrati 3D, è necessario misurare in maniera precisa i chip di varie altezze e materiali. L'impossibilità di misurare con precisione l'oggetto produce inoltre un impatto significativo sulla regolazione dell'altezza dell'asse Z durante le operazioni di fissaggio.
La nostra soluzione: tecnologia di rilevamento dello spostamento ad alta precisione senza contatto
Le tecnologie di misurazione laser confocale di OMRON sono ideali per affrontare le sfide associate alla regolazione dell'altezza dell'asse Z, offrendo metodi senza contatto per misurare i chip e assicurando allo stesso tempo un'elevata ripetibilità.
L'esclusivo sensore di spostamento confocale con luce bianca di OMRON fornisce misurazioni delle superfici angolate curve e lucide con una risoluzione più elevata rispetto ai tradizionali sensori di spostamento laser.
Tecnologie abilitanti
Principio del sensore confocale con luce bianca
OMRON è stata una delle prime aziende del settore ad adottare il principio del sensore confocale con luce bianca, in occasione del lancio della serie ZW. Questo principio consente una misurazione stabile degli oggetti in movimento in tutte le condizioni miste, ad esempio sulle superfici ruvide, curve, inclinate o strette.
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Rigorosi controlli di qualità, velocità di produzione e le ispezioni visive sono in costante aumento. Per soddisfare queste esigenze, sono necessarie misurazioni stabili durante il movimento per poter eseguire controlli di qualità senza compromettere la velocità di produzione. Sfruttando i vantaggi della luce bianca confocale, le serie ZW soddisfano queste esigenze per la maggior parte dei materiali (vetro, metallo, plastica ecc.) e forme (tonda, piatta, irregolare ecc.).
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