Progettate per applicazioni in ambienti puliti e caldi, le flange di connessione e le fibre ottiche per applicazioni sottovuoto garantiscono una durata operativa prolungata e l'isolamento rispetto all'ambiente circostante.

• Tasso di perdita pari a 1x10-10 Pa*m3/s max
• Resistono fino a 200°C
• Guaina della fibra in acciaio inox o in fluororesina resistente ai detergenti

Per il rilevamento di wafer in ambienti non sotto vuoto, vedere E32 per applicazioni speciali.